电加热器是真空炉的重要部件，它决议炉子的作业能力和作业期限。电加热器是由电热元件组成的，真空炉内的电热元件的作业条件，与非真空炉比较有以下不同点。电热元件向工件传热的方式不同真空炉的电热元件是经过辐射向工件传热，所以在其他条件相一起，真空炉的温度比非真空炉的要高。不过，只在低温炉中温度不同才比较显著。
电热元件与炉内气氛相互效果的条件不同电热元件在真空炉内的作业条件比其他状态下要好，特别是比炉内为氧化气氛的非真空炉要好得多。因而，电热元件在真空状态下对立氧化性要求不高。非真空炉电加热器中电热元件作业时除了炉内气氛与电热元件发作化学反应外，某些电热资料，特别是稀有金属，在加热时因吸收很多气体而变脆易损坏，但在真空状态下这些金属就能较长时间而可靠地作业。
电热元件资料的蒸发速度不同电热资料在真空炉内容易蒸发，因为跟着电热元件温度的升高，其蒸气压也随之添加，故运用寿命下降。从这一点看，真空也给电热元件带来了晦气影响。
对于低中温真空炉（运用温度不高于1000℃），一般选用镍铬合金铁铬铝合金作电热元件；一于高温真空炉，特别是运用温度大于1200℃的真空炉，所运用的电热元件为铝钨钽等纯金属以及石墨。非金属电热资料，如碳化硅在真空下其黏结剂会分化，硅化铝在真空下超越1300℃时会软化，因而真空炉很少选用这两种电热材料。
